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50数字气体质量流量控制器
精度:+/-1.5%满量程(一般气体); 重复性:+/-0.25%满量程; OEM 的价格,具备数字质量流量控制器的所有优良性能; 最大可控制气流为50 SLPM(NLPM); 先进的316L不锈钢铂金属传感器技术和专利的线性层流器技术确保仪表的优良性度; 提供铝和316不锈钢两种表体,带Viton弹性线圈; 本地显示和数字设定点控制,可选模拟设定点和模拟输出信号。
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精度:+/-1.5%满量程(一般气体)

重复性

1. +/-0.25%满量程
2. OEM 的价格,具备数字质量流量控制器的所有优良性能
3. 最大可控制气流为50 SLPM(NLPM)
4. 先进的 316L不锈钢铂金属传感器技术和专利的线性层流器技术确保仪表的优良性度
5. 提供铝和 316不锈钢两种表体,带Viton弹性线圈
6. 本地显示和数字设定点控制,可选模拟设定点和模拟输出信号
7. RS-232接口轻松与PLC 和工作站连接(提供用户软件和通讯线缆)
8. RS-485(可寻址)
9. 提供两个I/O dB9通讯口以便灵活连接通信
10. 可现场调节零点和量程
11. 直接控制气体的伺服电磁阀使气体泄漏达到最小
12. 300 ms的控制阀时间常数
13. 轻便的体积代替原来大的 MFC

性能参数

精度
:+/-1.5%满量程及线性度,温度在32ºF〜122ºF(0ºC〜50ºC)

重复性:±0.2%的满度

温度系数:±0.025%的满度每ºF(0.05%的满度每ºC),或者更好

压力系数:±0.01%的满度每psi(0.15%的满度每bar)或更好

响应时间:300毫秒的时间;2秒钟达到最终设定值的±98%,更快或更慢响应可定做

材料:316不锈钢;430F不锈钢;“O”形橡胶密封圈(Viton“O”-rings),其它材料请咨询厂家

气体:所有清洁气体,包括腐蚀性气体。在定货时请指明

类型 微管式质量流量计
机构原理 质量流量计
测量介质 气体
测量精度 1%以上
测量原理 热学原理

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